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Cr对多弧离子镀TiN及其复合膜(Ti,Cr)N性能的影响

史新伟 , 李春明 , 邱万起 , 刘正义

中国有色金属学报

通过改变Cr靶电流强度,在国产AIP-01型多弧离子镀膜机上制备不同Cr含量的(Ti,Cr)N复合薄膜.研究Cr的添加对薄膜硬度、薄膜相结构及晶格常数等性能的影响,探讨薄膜的硬化机理.结果表明:Cr的加入可显著提高复合薄膜的硬度,显微硬度可高达HV2665;复合薄膜是以TiN为基的(Ti,Cr)N薄...

关键词: TiN , (Ti Cr)N , 离子镀 , 复合薄膜 , 硬度 , 相结构