史新伟
,
李春明
,
邱万起
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刘正义
中国有色金属学报
通过改变Cr靶电流强度,在国产AIP-01型多弧离子镀膜机上制备不同Cr含量的(Ti,Cr)N复合薄膜.研究Cr的添加对薄膜硬度、薄膜相结构及晶格常数等性能的影响,探讨薄膜的硬化机理.结果表明:Cr的加入可显著提高复合薄膜的硬度,显微硬度可高达HV2665;复合薄膜是以TiN为基的(Ti,Cr)N薄膜,薄膜中没有独立的CrN和Cr2N相,同时由于Cr的加入,薄膜的择优取向从(111)晶面逐渐过渡到(200)晶面,随Cr靶电流的增大,所得(Ti,Cr)N复合膜中出现单质Cr.
关键词:
TiN
,
(Ti Cr)N
,
离子镀
,
复合薄膜
,
硬度
,
相结构
