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用于太阳能电池的多晶硅锭片晶体学特征研究

徐卫平 , 王云 , 胡勇 , 周浪

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2009.05.003

用背散射电子衍射分析技术研究铸造多晶硅锭切片的晶体学特征.结果表明:多晶硅锭晶体内部几乎没有取向差,取向差主要存在于晶界处;多晶硅锭切片中的大部分晶界为大角度晶界,且以Σ3为主,同时还存在少量小角度晶界.多晶硅制作太阳能电池转换率低可能与Σ3所占比例过高有关.

关键词: 多晶硅锭片 , EBSD , 取向差 , 晶界 , Σ3