刘军芳
,
徐军
,
姚武
材料导报
采用脉冲激光沉积法、选取β-BBO陶瓷作为靶材在掺在Sr2+的α-BBO(001)衬底上进行了生长β-BBO薄膊膜的实验,生长出表面光滑、无色透明的薄膜.采用X射线粉末衍射(XRD)、高分辨X射线衍射仪(XRC)对薄膜进行了分析测试,结果表明,所制备的β-BBO薄膜择优取向为(00l)面,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000“左右,显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量,其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190 nm,但薄膜的透过率略有下降.采用调Q脉冲Nd:YAG激光器观察了β-BBO薄膜的倍频效应.
关键词:
脉冲激光沉积
,
β-BBO薄膜
刘军芳
,
徐军
材料导报
采用气相传输平衡技术在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上制备了β-BBO薄膜,研究了粉料配比、VTE处理温度以及恒温时间对薄膜质量的影响.结果表明,在适当的粉料配比、VTE处理温度以及恒温时间下,在Sr2+:α-BBO晶片表层制备呈c轴高度择优取向的、没有第二相物质的β-BBO薄膜,其双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000",显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量.并对气相传输平衡技术制备β-BBO薄膜的机理进行了初步的探讨.
关键词:
气相传输平衡
,
β-BBO薄膜
,
Sr2+
,
α-BBO衬底
刘军芳
,
徐军
,
姚武
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.06.028
采用液相外延法、脉冲激光沉积法以及气相传输平衡法在Sr2+:α-BBO(001)衬底上生长了质量优异的β-BBO薄膜,对薄膜进行了X射线衍射测试以及双晶摇摆曲线分析,结果表明,采用Sr2+:α-BBO单晶作为衬底制备的β-BBO薄膜具有高的择优取向度和低的半峰宽值.同目前制备β-BBO薄膜所采用的其他衬底材料相比,Sr2+:α-BBO和β-BBO之间具有结构相似、透光范围匹配以及化学稳定性匹配的优点,表明Sr2+:α-BBO单晶将是生长β-BBO薄膜的优异衬底材料.
关键词:
Sr2+:α-BBO衬底
,
β-BBO薄膜
,
液相外延
,
脉冲激光沉积
,
气相传输平衡
刘军芳
,
周国清
,
何晓明
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.05.006
采用液相外延法在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上进行了生长β-BBO薄膜的实验,生长出表面光滑、无色透明的薄膜.应用X射线粉末衍射(XRD)、分光光谱仪和原子力显微镜(AFM)对外延膜进行了分析测试.结果表明,所制备的β-BBO薄膜择优取向为(001)面,在1μm×1μm的面积内,外延膜的表面粗糙度为2.279nm,其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190nm,但外延膜的透过率略有下降.采用调Q脉冲Nd: YAG激光器观察了β-BBO外延膜的倍频效应.
关键词:
液相外延
,
β-BBO薄膜
,
Sr2+:α-BBO衬底
刘军芳
,
徐军
,
姚武
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2007.04.020
采用液相外延法在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上制备了β-BBO薄膜,研究了制备条件对薄膜质量的影响.结果表明:当生长温度为810 ℃时,转速为300 r/min生长的外延膜具有较高的结晶质量,且随着生长时间的延长,外延膜的结晶质量有所提高.β-BBO薄膜呈c轴高度择优取向,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM仅为676.6″,表明β-BBO薄膜较好的结晶质量;在不具备相位匹配的条件下,β-BBO外延膜也能够实现二次谐波输出.
关键词:
无机非金属材料
,
液相外延
,
β-BBO薄膜
