材料期刊网

Si和6H-SiC衬底上β-FeSi2薄膜的制备

宁耀斌 , 蒲红斌 , 陈春兰 , 李虹 , 李留臣

人工晶体学报

以6H-SiC (0001) Si面和Si(100)为衬底,采用磁控溅射Fe-Si合金靶和Si靶两靶共溅射的方法,并经过后续的快速退火成功制备了β-FeSi2薄膜.通过X射线衍射(XRD)、拉曼(RAMAN)和电子扫描电镜(SEM)研究了不同衬底对薄膜生长过程的影响.结果表明:与Si衬底不同,6H-...

关键词: β-FeSi2薄膜 , 6H-SiC衬底 , Si衬底 , 磁控溅射