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合成β-SiCw的催化剂熔球机理研究

管英富 , 郭梦熊

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.013

本文用扫描电镜(SEM)研究了合成β-SiCw的反应过程和晶须的生长机理.通过对催化剂熔球的元素含量分析,发现β-SiCw的形成过程属气-液-固(VLS)三相反应过程,反应体系中含硅、碳的物质熔解在催化剂熔球中反应生成SiC,SiC在催化剂熔球的定向修正作用下沿(111)面结晶形成β-SiCw.用此方法合成β-SiCw反应速度快,晶须质量好,晶须生成率高.

关键词: β-SiCw , 合成 , 催化剂熔球 , 反应机理 , 晶须

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