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导致金刚石薄膜不均匀沉积的机理

霍晓 , 任家烈 , 鹿安理

金属学报

以MPCVD法合成金刚石薄膜的实验结果为基础，深入分析了微波等离子体性质对金刚石薄膜沉积过程的影响，提出了解释金刚石薄膜不均匀沉积现象的新机理，即由微波等离子体中电子浓度的不均匀分布引起反应气相中过饱和原子氢浓度的不均匀分布所致

关键词: 金刚石薄膜 , nonuniform deposition , mechanism