罗庆洪
,
杨会生
,
陆永浩
,
娄艳芝
,
于栋利
,
王燕斌
航空材料学报
doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2010.2.009
使用TiAl合金靶,利用中频反应磁控溅射系统,通过交替改变氮气流量的方法,在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了氮含量周期性改变的AlTiN多层薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)和高分辨透射电镜(HRTEM)等方法研究了AlTiN多层薄膜微观组织和结构;AlTiN多层薄膜的力学以及膜基结合性能用纳米压痕硬度仪和划痕试验得到.结果表明,制备的AlTiN薄膜,尽管交替的两层中氮含量不同,但每一单层都为非晶包裹纳米晶的纳米复合结构,所不同的是,低氮含量层中纳米晶密度较小.多层结构的形成能够很大的提高AlTiN多层薄膜的临界载荷和结合能,同时硬度和弹性模量值均有微小的提高,氮气流量的增加有利于多层膜性能的改善.
关键词:
中频反应磁控溅射
,
AlTiN多层薄膜
,
显微结构
,
结合能
廖国进
,
巴德纯
,
闻立时
,
刘斯明
,
阎绍峰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.007
应用中频反应磁控溅射设备在载玻片上制备掺铈的Al2:O3薄膜,在固定的电源功率下,氩气流量为23sccm,氧流量为5sccm,室温下溅射时间为90min的条件下,通过控制薄膜中的Ce3+离子的掺杂量来改变薄膜的发光性能.通过X光能量散射谱(EDS)和光致发光测量,得到发光强度和发光峰位对薄膜中的Ce3+浓度有强烈的依赖关系,并且分析了产生这种关系的原因;对发光激发谱分析表明,薄膜发光是源于薄膜中形成的氯化铈集合体中的Ce3+.Al2O3:Ce3+发光膜可应用于需要蓝光发射的平板显示领域.
关键词:
三氧化二铝薄膜
,
中频反应磁控溅射
,
掺杂浓度
,
光致发光
,
Ce
