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Cr203涂层对A1203绝缘瓷二次电子发射特性的影响

郑家贵 , 蔡亚平 , 周心明 , 蒋立新 , 罗四维

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.03.019

用CT203涂复α-A1203绝缘瓷表面，并经热退火处理。观测了它们的二次电子发射系数、SEM、XRD、XPS和EELS，发现样品在退火后，涂层元素扩散进了A1203陶瓷基底，生成了新相；根据XPS和EELS的分析结果，表面层能隙减小，能隙中的缺陷态、杂质态及表面态增加，提供了更多可能的复合中心和陷阱中心，有利于非平衡载流子的散射跃迁，从而大大耗散能量，减少二次电子发射。

关键词: Cr203涂层 , α-A1203绝缘瓷 , 二次电子发射特性