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脉冲时间间隔对激光烧蚀Si粒子密度分布的影响

褚立志 , 李艳丽 , 邓泽超 , 丁学成 , 赵红东 , 傅广生 , 王英龙

人工晶体学报

采用Monte Carlo方法,对脉冲激光烧蚀所产生的烧蚀粒子在环境气体中的输运过程进行了数值模拟.研究了不同脉冲时间间隔与交叠区位置振荡幅度之间的关系,结果表明脉冲时间间隔影响了交叠区的振荡强弱,随着脉冲时间间隔的增加,交叠区的振荡幅度减小,脉冲时间间隔为10 μs时达到最小值,而后开始增大.所得...

关键词: 脉冲激光烧蚀 , Monte Carlo模拟 , 纳米Si晶粒 , 交叠区