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陈海军 , 马灵芝 , 唐祯安
功能材料
介绍了交流量热法测量薄膜热扩散率的原理和系统组建.用脉宽为纳秒级的超短激光脉冲作为热源,测量了Si衬底上厚度为100nm和500nm的SiO2薄膜水平方向上的热扩散率.实验结果表明该结构的热扩散率比SiO2体材料的要小,并且随着SiO2层厚度的减小,热扩散率也减小.
关键词: 交流量热法 , 薄膜 , 热扩散率
