熊惠芳
,
唐新桂
,
易双萍
,
范仰才
,
蒋力立
,
陈王丽华
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.03.014
在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用脉冲激光沉积工艺分别制备出了(110)外延取向生长的(Ba0.65Sr0.35)TiO3/CaRuO3(BST/CRO)异质结构薄膜;BST/CRO异质结构薄膜由纳米晶团簇组成,最大的团簇晶粒达500 nm,平均晶粒尺寸在60～80 nm,薄膜厚度为650 nm.BST/CRO异质结薄膜均为表面平滑和致密结构.BST/CRO异质结薄膜的介电常数和介电调谐率分别高达851和78.1%.与纯BST薄膜比较,用CRO作电极,增益介电常数与介电调谐率.
关键词:
脉冲激光沉积
,
钛酸锶钡薄膜
,
异质结构
,
介电调谐率
