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偏压类型对磁过滤等离子体制备优质类金刚石膜的影响

闫鹏勋 , 李晓春 , 李春 , 李鑫 , 徐建伟

中国有色金属学报

采用自行研制的磁过滤等离子体装置在单晶Si基底上制备了优质类金刚石(DLC)薄膜.运用红外光谱(IR)、扫描电镜(SEM),原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对样品进行了表征和分析,着重研究了衬底偏压类型对制备薄膜的影响.结果表明:在无偏压或周期性负偏压下制备的DLC薄膜的sp3含量比连续负偏压下制...

关键词: 周期性偏压 , 优质DLC膜 , 磁过滤等离子体 , 硬度