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电子束物理气相沉积工艺制备超薄高温结构材料的研究

马李 , 孙跃 , 赫晓东 , 李垚

材料导报

介绍了包括热障涂层、高温合金薄板、金属/陶瓷及金属/金属间化合物微叠层薄板等金属热防护系统结构材料的特点,并简要介绍了电子束物理气相沉积设备的工作原理、结构及其工艺特点.着重评述了利用该工艺制备多种体系高温结构材料的研究现状,最后对未来的发展趋势作出了客观的评价与展望.

关键词: 会属热防护系统 , 高温结构材料 , 电子束物理气相沉积 , 微叠层材料

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