雷明凯
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朱雪梅
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袁力江
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张仲麟
金属学报
等离子体基低能离子注入是一种钢的低温, 低压表面改性方法, 它包括等离子体源离子渗氮和等离子体源离子渗碳两种工艺. 等离子体基低能离子注入的主要传质机制是低能离子注入－同步热扩散, 即在脉冲负偏压作用下的离子首先完成不依赖于工艺温度的低能离子注入, 然后已注入的原子在较低的工艺温度上发生足够的热扩散, 等离子体热扩散吸收具有补充的传质作用, 但由于工艺温度较低, 这种作用很小.
关键词:
离子注入
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