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低能离子束方法制备Fe组分渐变的Fe-Si薄膜

刘力锋 , 陈诺夫 , 张富强 , 陈晨龙 , 李艳丽 , 杨少延 , 刘志凯

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.03.030

利用质量分离的低能离子束技术,获得了Fe组分渐变的Fe-Si薄膜.利用俄歇电子能谱法(AES)、 X射线衍射法(XRD)以及X射线光电子能谱法(XPS)测试了薄膜的组分、结构特性.测试结果表明,在室温下制备的Fe-Si薄膜呈非晶态.非晶薄膜在400 ℃下退火20 min后晶化,没有Fe的硅化物相形成.退火后Fe-Si薄膜的Fe组分从表面向内部逐渐降低.

关键词: 低能离子束 , , , 薄膜

低能离子束方法制备磁性Fe-Si合金薄膜

刘力锋 , 陈诺夫 , 张富强 , 陈晨龙 , 李艳丽 , 杨少延 , 刘志凯

功能材料

利用质量分离的低能离子束技术,获得了磁性Fe-Si合金薄膜.利用俄歇电子能谱法(AES)、X射线衍射法(XRD)以及交变梯度样品磁强计(AGM)测试了样品的组分、结构以及磁特性.测试结果表明在室温下制备的Fe-Si合金是Fe组分渐变的非晶薄膜,具有室温铁磁性.当衬底温度为300℃时制备的非晶Fe-Si薄膜中有Fe硅化物FeSi相产生,样品的铁磁性被抑制.

关键词: 低能离子束 , , 铁磁性 , 磁性半导体

低能离子束表面改性对聚碳酸酯(PC)粘接性能的影响

张官理 , 伍建华 , 张振 , 望咏林 , 张洪峰 , 温培刚

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2009.12.010

利用氩氧混合低能离子束对双酚A型聚碳酸酯(PC)透明材料进行表面改性,并用自制丙烯酸酯胶黏剂表征了改性前后的粘接性能.结果表明:改性后的PC与丙烯酸酯胶黏剂的压剪强度得到了明显的改善.经分析,粘接性能的改善是由于低能离子束表面改性后的PC表面润湿性能的改善、表面活性的提高、表面弱电层的剥蚀和表面微交联层的生成引起的.

关键词: 低能离子束 , 聚碳酸酯 , 表面改性 , 粘接性能 , 压剪强度

低能离子束轰击对Ti和Ti-N膜组织与性能的影响

曾鹏 , 胡社军 , 谢光荣 , 黄拿灿 , 吴起白

稀有金属材料与工程

研究了用能量为3.0keV~4.0 keV,束流为80mA~200mA的低能氮和氩离子束对Ti膜进行轰击的作用以及用低能氮离子束对真空电弧沉积Ti-N膜层辅助沉积作用.结果表明:用低能氮离子束对Ti膜进行轰击可以形成Ti2N相,在(204)晶面出现一定的择优取向,并对Ti膜层有一定的强化作用;在低能氮离子束对真空电弧辅助沉积过程中,膜层表现为较高的显微硬度;随低能离子束能量的增大,真空电弧沉积膜层中Ti2N相增多,在(002)晶面出现择优取向,膜层晶粒有粗化的趋势,但显微硬度却增加,这与Hall-Petch公式不符.

关键词: 低能离子束 , IBAD , 真空电弧沉积(VAD) , 组织结构 , 显微硬度

制备45°双外延超导结的新工艺

李壮志 , 王福仁 , 孟树超 , 马平 , 聂瑞娟 , 戴远东

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.03.010

我们使用脉冲激光沉积方法对YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜在MgO基片上通过CeO2/YSZ双缓冲层的生长进行了系统的研究,发现MgO单晶基片的表面质量是决定能否得到理想外延薄膜质量的关键因素,通过使用低能离子束对MgO表面进行轰击,以增加其表面粗糙度和去除变质层,得到了具有100%面内45°旋转的YBCO外延膜,其临界电流密度77K时在106A/cm2量级.通过湿法刻蚀得到的双外延Josephson结表现出RSJ特性.

关键词: YBCO薄膜 , 双外延超导结 , 低能离子束

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