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汪飞琴 , 苏小平 , 鲁泥藕
功能材料
化学气相沉积(CVD)法可制备高纯度、近似元件形状、大面积的块体材料,与制备薄膜的CVD过程相比,该过程存在长时间沉积稳定性、厚度均匀性及光学质量均匀性等问题.本文采用简化装置对CVD工艺过程进行物理模拟,探讨不同工艺参数下沉积室内部气体流型的变化,分析流型对沉积过程的影响.
关键词: 化学气相沉积 , 体材料 , 稳定性 , 均匀性 , 流型
汪京荣 , 冯勇 , 张平祥
稀有金属材料与工程
评述了有关高温超导体材料应用的研究动向,着重介绍了高温超导传输和配电电缆、大电流引线、变压器、故障电流限制器、磁共振成像仪磁体、高温超导电机和超导磁性储能等热点项目的优势和国内外进展,并讨论了材料产业部门在此形势下,高温超导材料研制应有的对策.
关键词: 高温超导 , 体材料 , 应用
