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模具钢喷淋微细蚀刻的侧蚀研究

宋卿 , 于兆勤 , 王冠 , 郭钟宁 , 黄红光

腐蚀学报（英文）

对掩膜处理的模具钢进行喷淋微细蚀刻,观测表面微观结构,分析掩膜间隙尺寸、喷淋压力对侧蚀量的影响.实验表明,随着掩膜间隙尺寸的增大,侧蚀量增大,这是因为微结构凹坑内部蚀刻液的滞留和对O2阻碍作用,造成了不同部位蚀刻速率不同,发生侧蚀;喷淋压力增大也导致侧蚀量增加,因为较大压力下蚀刻液的侧向蚀除力大,侧...

关键词: 微细蚀刻 , 侧蚀 , 间隙尺寸 , 喷淋压力