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董磊 , 方明 , 易葵 , 范瑞瑛 , 邵建达 , 范正修
功能材料
对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.
关键词: 薄膜 , 均匀性 , 修正挡板
