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SiC单晶片的取向研磨

赵树峰 , 陈治明 , 潘盼 , 王欢欢

人工晶体学报

优质晶体生长常常需要籽晶或衬底偏离常规结晶取向.为便于按任意偏向角度研磨晶片,本实验室设计并应用了晶片取向研磨夹具及相应的研磨工艺.本文介绍了该夹具和工艺的工作原理、技术要点以及对技术指标的鉴定情况.测试结果表明,研磨取向误差范围可控制在5%之内,研磨片厚度偏差小于5 μm、粗糙度Ra=0.12 μm.

关键词: SiC单晶片 , 取向研磨 , 偏向晶片