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扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用

王全 , 胡斌 , 孙静 , 胡会能

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2003.z1.104

阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.

关键词: 电压衬度像 , 充电现象 , 开路