陈赟
,
梁立辉
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.06.013
目前,国内控制码盘、计量光栅图案刻制的机构是快门,原有的穿孔带式快门有很多缺点,为了避免这些缺点,对液晶光阀作为快门的可行性进行了研究.通过对抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的关系进行理论推导,构建了它们之间的数学模型,对液晶光阀的特性进行分析并进行了曝光控制实验,为设计一种智能型液晶光阀曝光控制装置提供了理论依据.
关键词:
液晶光阀
,
光刻快门
,
感光特性
,
光效
,
曝光量
陈赟
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2005.04.014
通过分析光刻快门的控制原理及结合液晶光阀的工作原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图,该控制系统采用DS75451与门模块对液晶光阀组进行驱动,通过AT89C51单片机控制液晶光阀组的亮暗,实现了对液晶光阀组的控制,起到光刻快门的作用.通过实际光刻试验,液晶光阀组式光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计的要求,刻出的图案清晰,线条陡直,证明液晶光阀替代穿孔带用于光刻快门是完全可行的.
关键词:
液晶光阀组
,
光刻快门
,
控制电路
