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光子热丝法沉积金刚石膜

彭鸿雁 , 申家镜 , 杨贵龙 , 邵春雷 , 魏雪峰 , 杨广亮 , 金曾孙

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.022

采用一种改进的热丝CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝CVD腔中设置一套红外线发 生器，中心波长3.5μm,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气 体分解加强,在反应区获得较高浓度的原子氢和活性碳氢基团，使金刚石膜的生长速率和品质 得到了提高。

关键词: 光子热丝 , 金刚石膜 , 生长速率