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一种新型的光学增透膜——DLC及改性DLC薄膜

孙增辉 , 乔学亮 , 程宇航

材料导报

光学增透薄膜是一种很重要的光学材料,传统的MgFz和ZnS增透膜具有强度低的缺陷,已经不能满足现代科技进步的需要.回顾了近年来关于DLC薄膜和CN薄膜光学性能的研究情况,讨论了改性的DLC薄膜用做增透膜的可行性.从理论和实践两个方面进行了探讨,结果表明DLC薄膜和CN薄膜在光学增透领域具有广阔的应用前景.

关键词: 光学增透 , DLC薄膜 , CN薄膜

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