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Ba0.9Sr0.1TiO3薄膜的椭偏光谱研究

阳生红 , 李辉遒 , 张曰理 , 莫党 , 田虎永 , 罗维根 , 蒲兴华 , 丁爱丽

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.02.018

用椭偏光谱仪首次在光子能量为2.15.2eV的范围内，测量了不同热处理温度下Ba0.9Sr0.1TiO3(BST)薄膜的椭偏光谱.建立适当的拟合模型，并用Cauchy色散模型描述BST薄膜的光学性质，用最优化法获得了所有样品的光学常数(折射率n和消光系数k)谱及禁带能Eg.比较这些结果，初步得到了BST薄膜的折射率n、消光系数k和禁带能Eg随退火温度变化的变化规律.

关键词: 椭偏光谱 , 光学常数谱 , BST薄膜