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云母基VO2薄膜光学开关及变色性能研究

罗蓉蓉 , 何鹏 , 黄婉霞 , 颜家振 , 蔡靖涵

稀有金属材料与工程

采用溶胶凝胶及后退火工艺制备云母基底的二氧化钒薄膜,采用XRD、SEM、FTIR及色差研究薄膜的性能.FTIR结果表明:在金属-半导体相变过程中,薄膜在红外光区的透过率变化为77％；变色性能显示相变时薄膜从低温的黄褐色变为高温黄绿色,色差△E*随温度的变化规律与光学开关性能类似,色差△E*在相变过程中的最大值为11.31.

关键词: 光学开关 , 变色 , 二氧化钒薄膜 , 热致变色