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刘桂玲 , 黄政仁 , 陈健 , 刘学建 , 江东亮
稀有金属材料与工程
采用传统机械加工方法研究了碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量的影响,指出碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量有一定影响,但在一定密度范围内,通过改善光学镜面加工工艺均可得到较好的表面质量.通过对加工机理的分析得出,在碳化硅陶瓷光学镜面加工过程中,材料去除方式与磨粒尺寸有关,选择适当的磨粒尺寸可实现材料去除方式由晶粒去除向延性去除的转变,从而有效地降低表面粗糙度.
关键词: 碳化硅 , 光学镜面加工 , 加工机理
刘桂玲 , 黄政仁 , 刘学建 , 董绍明 , 江东亮
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324x.2007.05.001
为了获得满足光学应用要求的碳化硅光学镜面,通常采取碳化硅表面改性和改进光学镜面加工的方法.碳化硅表面改性的主要方式是在碳化硅表面镀致密化涂层.本文介绍了在碳化硅表面化学气相沉积碳化硅和物理气相沉积硅两种碳化硅表面改性技术,并对碳化硅光学镜面加工的研究现状进行了综述.
关键词: 碳化硅 , 表面改性 , 光学镜面加工
