张勤远
,
沈军
,
李小丽
,
杨天河
,
吴广明
,
周斌
,
王珏
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.01.019
用水热盐溶液水解法可合成含有单斜相晶态纳米ZrO2颗粒的ZrO2溶胶体.用匀胶法制备的纳米ZrO2薄膜厚度约160 nm,折光率为1.56.纳米ZrO2薄膜表面质量良好,无表面裂隙,台阶仪研究表明薄膜表面粗糙度算术差Ra=2.7 nm,均方根差Rq=3.7 nm.以ZrO2为高折射率膜层,碱催化的溶胶凝胶SiO2为低折射率膜层,制备了SiO2/ZrO2多层高反射率薄膜,10周期的SiO2/ZrO2多层膜系,在1.06 μm波段处透过率为1%,薄膜表面抗激光损伤阈值约15 J/cm2(1.06 μm,2.5 ns高功率激光作用下).
关键词:
水热法
,
纳米ZrO2薄膜
,
单斜相ZrO2
,
光学高反膜
,
激光损伤阈值
