刘博
,
李杰
,
孙立朋
,
金龙
,
关柏鸥
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2016.03.016
为实现高精度和高灵敏度的折射率测量,采用微米级氢氟酸液滴化学腐蚀的方法制作非对称的微纳光纤Fabry-Perot (FP)谐振腔,具有波导尺寸小、损耗低、双折射率高和腔Q值高等优点.不同正交偏振方向的谐振模式对外界折射率变化具有不同的响应,沿光纤快轴和慢轴方向的模式折射率灵敏度分别为133.8 nm/RIU、117.1 nm/RIU,快慢轴方向的温度灵敏度均为0.012 nm/℃,通过光谱仪监测两柬偏振光的波长差可实现温度独立的折射率测量.采用不同FP腔参数的光纤传感器进行实验研究,结果表明光纤FP传感器腔直径越小,腐蚀占腔长比越高,其折射率灵敏度越高.
关键词:
纤维与波导光学
,
光纤传感器
,
化学腐蚀
,
折射率传感器
,
光纤FP谐振腔
