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氧气流量对射频磁控溅射制备Cu2O薄膜性能的影响

林龙 , 李斌斌 , 鲁林峰 , 江丰 , 沈鸿烈

人工晶体学报

通过磁控溅射方法在玻璃衬底上制备Cu2O薄膜,采用X射线衍射(XRD)、分光光度计、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)等研究了氧气流量对Cu2O薄膜性能的影响.结果表明:氧气流量为4.2 sccm时,薄膜为单相的Cu2O,具有较高的结晶质量和可见光透过率,光学带隙为2.29 eV,薄膜的导电类型是p型且空穴浓度为2×1016 cm-3.通过XPS能谱分析Cu 2p3/2和O 1s结合能,确定了薄膜中Cu以+1价存在.

关键词: 氧化亚铜 , 磁控溅射 , 电阻率 , 光透射率 , 氧气流量

层状火焰的计算全息

夏守之 , 邓开发 , 是度芳

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2001.04.004

通过研究燃烧器中预混空气-乙炔气体燃烧气流形成层状结构,将其分界面看作轴对称的旋转二次曲面,根据合理近似处理最接近的球冠,并建立其模似曲面方程;通过对燃烧气流的光透射率和厚度灵敏因子的测量,对所设计的膜系结构的各个膜层的厚度进行修正;最后计算了平行光透过火焰膜层到像平面之间的光程差,并计算了这个光程差所导致的相位变化对激光相位全息图影响;通过计算获得激光相位全息图的有关参数,在实验中能灵活调整相关的距离,可得到极佳的激光相位全息图.

关键词: 层状结构 , 燃烧气流 , 光透射率 , 厚度灵敏因子 , 光程差 , 激光相位全息图

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