姚劲刚
,
郑列华
,
郝沛明
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2017.03.003
为实现小口径Hindle透镜对大口径凸非球面的高精度检测,提出了一种新的凸非球面无光焦度双透镜Hindle检验方法,通过加入无光焦度校正透镜有效解决了传统Hindle检验的不足.对口径180mm、半径380mm、偏心率2.8的凸非球面进行了设计分析,分别给出了不同光焦度分配及不同无光焦度双透镜间距时系统的残余波像差曲线图,得出较优的系统残余波像差为0.0006λ,验证了该方法的可行性.
关键词:
几何光学
,
Hindle检验
,
无光焦度透镜
,
凸非球面检测
姚劲刚
,
胡文琦
,
叶璐
,
郑列华
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.05.002
在现代光学检测中,凸非球面的检测一直是一个难点.辅助面的背向零位检测方法,从三级像差理论出发,通过计算非球面的法距差,来探讨辅助面对凸非球面法距差的补偿校正能力.这种检验方法可用于偏心率-1/n2＜e2＜1/n2的凸非球面.辅助面有两个作用,其一为将实体非球面的球心引入到空气中;其二则为辅助面与凸非球面的组合可以补偿凸非球面的法距差.通过理论分析与Zemax编程计算得出当-0.5＜e2＜0.5时非球面的RMS值均优于λ/30.在工程实际应用中,通过此方法检测的凸非球面波前误差优于λ/100.可以得出辅助面对凸非球面的法距差具有一定的补偿能力这一结论.
关键词:
几何光学
,
辅助面补偿
,
凸非球面检测
