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TFT-LCD切割裂片工艺参数探讨

李亚利 , 张方辉

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.01.010

研究了TFT-LCD切割裂片的原理,以及刀轮角度、切割压力、下压量等工艺参数对切割质量的影响.采用120 °和130 °两种不同角度的刀轮在切割速度300 mm/s、刀轮下压量0.14 mm的条件下进行切割,发现120 °刀轮的切割深度比130 °刀轮的要大5~10 μm ;当切割压力一定时,切割深度随下压量的增加而增加.在同样条件下,120 °刀轮在切割压力为0.18 MPa时出现横向微裂纹,130 °刀轮在0.28 MPa的切割压力下出现横向裂纹;可见刀轮角度越小,越容易出现横向裂纹.实验结果表明,压力是影响横向微裂纹产生的主要因素,而刀轮下压量对横向裂纹的产生没有太大影响.

关键词: TFT-LCD , 刀轮角度 , 下压量 , 切割压力

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