苏静杰
,
杨梓
,
李义锋
,
唐伟忠
,
安晓明
,
郭辉
无机材料学报
doi:10.15541/jim20140629
针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点，研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品，用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进行了实验研究。在此基础上，使用分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置对微波等离子体化学气相沉积法和直流电弧等离子体喷射法制备的高品质金刚石膜在 Ka 波段的微波介电性能进行了测试比较。测试结果表明，由Raman光谱、紫外-可见光谱等分析证明品质较优的微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石膜具有更高的微波介电性能，其相对介电常数和微波介电损耗值均低于直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜。
关键词:
微波介电性能
,
分体圆柱谐振腔
,
金刚石膜
