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侯思懿 , 铁生年 , 汪长安
人工晶体学报
本文主要研究用碱洗法去除硅片切割废砂浆中硅和二氧化硅等杂质,以获得高纯度的碳化硅.研究了碱液的种类、碱液的浓度、碱液与总硅的配比、反应时间和反应温度各因素对除硅效果的影响,通过正交实验得出了最优的工艺条件.
关键词: 切割废砂浆 , 硅 , 二氧化硅 , 碱洗法 , 除杂
