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康壮 , 杜之璨 , 孙国柱 , 曹春海 , 房玉荣 , 顾敏 , 翟计全 , 吴培亨
低温物理学报
本文详细介绍了在微波频段,高阻硅衬底上的超导共面波导谐振腔的研究,包括设计方法、制备流程、实验测量和数据分析,并且对NbN和Nb两种材料进行了实验对比.由于超导体中动态电感的存在,我们还对两种超导材料在不同厚度的情况下进行了测量,并且与理论计算结果进行了比较.
关键词: 共面波导谐振腔 , 超导 , 动态电感 , 微波
