崔红玲
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杨邦朝
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杜晓松
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周鸿仁
,
滕林
功能材料
箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa.而采用绝缘封装层为A12O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限.动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55.32GPa,压阻系数为0.0272,传感器的延续时间可达2.5μm.
关键词:
箔式锰铜传感器
,
Al2O3薄膜
,
动态高压测试
崔红玲
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杨邦朝
,
杜晓松
,
周鸿仁
,
滕林
材料导报
为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限,须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层.用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层,代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜,从根本上消除高压旁路效应,提高传感器的测压上限.初步的动态超高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为54.55GPa,压阻系数为0.0237GPa-1,延续时间可达1.6μs.
关键词:
箔式锰铜传感器
,
Al2O3薄膜
,
动态高压测试
