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Ti-Si-N纳米复合薄膜KMC仿真中有效作用势的拟合

刘学杰 , 任元 , 孙士阳 , 谭心 , 贾慧灵

材料导报

为了准确地实现Ti-Si-N纳米复合薄膜生长过程动力学蒙特卡罗(KMC)仿真,采用简单原子之间的有效势拟合了第一性原理计算单粒子在TiN(001)表面的吸附作用和迁移行为.通过计算分别获得Ti、Si、N单粒子沉积在TiN(001)表面有效势的计算参数a、r0和u0.Ti、Si、N单粒子在TiN(00...

关键词: 复合材料 , 有效作用势 , Ti-Si-N薄膜 , 势能面 , 拟合