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热等静压(HIP)对CVDZnS光学性能的影响

付利刚 , 苏小平 , 余怀之 , 霍承松 , 宋睿丰 , 石红春 , 鲁泥藕

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.06.011

对化学气相沉积(CVD)ZnS经热等静压(HIP)处理前后在光学透过率等方面的改变进行了比较分析. 针对温度、原生样品厚度等因素对样品性能的影响做了详细阐述. 实验表明, 热等静压对原生CVDZnS光学性能有促进作用, 随处理温度的升高, 透过率在1010~1050℃之间出现峰值; 原生样品厚度的影响不容忽视, 导热均匀的薄样品晶粒均匀且尺寸较大, 光学及力学性能要好于厚样品.

关键词: 化学气相沉积ZnS(CVD) , 热等静压(HIP) , 透过率

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