王静
,
杨志刚
,
谢鹤
,
金哲晖
,
胡楠
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.03.007
采用乙醛酸代替有害的化学药品甲醛作为还原剂的化学镀技术, 在TiN 阻挡层实现了化学镀铜.研究了不用贵重金属钯催化,而是采用NH4F酸性化学镀方法在TiN/Ti/SiO2/Si基板上沉积一层铜种子层,然后在此铜种子层上采用乙醛酸化学镀方法沉积铜膜的方法.用SEM观察镀层形貌,XRD表征镀层结晶状态,证实此方法能够制备出超大规模集成电路铜互连线.试验分析并探讨了pH值、铜离子浓度、乙醛酸浓度、EDTA浓度、联吡啶浓度、镀液温度对化学镀速度和镀铜层效果的影响,得到了制备超大规模集成电路铜互连线的最优化学镀溶液成分.
关键词:
乙醛酸
,
化学镀铜
,
种子层
,
铜互连线
,
化学镀镀液
辛后群
,
陶庭先
,
王二兰
,
张宇东
,
陈培根
,
王娟
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.03.019
为了探求以聚丙烯腈纤维为基体化学镀铅最佳工艺条件.以醋酸铅为主盐,三氯化钛为还原剂,EDTA和柠檬酸三钠为络合剂,通过化学镀的方法将金属铅镀覆于纤维表面.结果表明:镀液主要成分的浓度以及施镀的温度、镀液的pH值、施镀时间对金属铅镀覆于纤维表面效果有很大的影响.得出结论:醋酸铅、三氯化钛、EDTA、柠檬酸三钠的浓度范围分别为10.0～16.0g/L、20.0～30.0ml/L、50.0～70.0g/L、100.0～140.0g/L时,pH值为9.0～10.0,温度60℃水浴,施镀时间90min,聚丙烯腈纤维表面镀铅效果最好.
关键词:
聚丙烯腈纤维
,
化学镀铅
,
工艺条件
,
化学镀镀液
王憨鹰
,
陈焕铭
,
孙安
,
徐靖
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.03.006
为了优化酸性化学镀Ni-P镀液中光亮剂的配方,运用试验方法确定了复合光亮剂的最佳成分配比,通过对不同光亮剂条件下镀层宏观形貌的观察与分析,结果表明:1000mL镀液中,添加12mL CdSO4、12.5mL C4H6O2、23mL C12H25NaO3S的复合光亮剂进行施镀,可得到镜面光亮的镀层,镀层中晶粒尺寸呈纳米尺度.
关键词:
化学镀
,
光亮剂
,
Ni-P合金
,
化学镀镀液
,
合金镀层
