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OTS修饰的不同厚度酞菁铜OTFT的研究

刘向 , 刘惠 , 薛钰芝

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.01.014

用十八烷基三氯硅烷(OTS)修饰了不同厚度的酞菁铜(CuPc)有机薄膜晶体管器件, 对比酞菁铜厚度为15、40、80 nm的3种器件性能后,得到40 nm的酞菁铜器件具有最高载流子迁移率.分析了OTS修饰的绝缘层表面对器件性能的影响,得到的40 nm厚度酞菁铜器件载流子迁移率为4.3×10-3cm2/V*s, 阈值电压为-9.5 V.

关键词: 酞菁铜 , 半导体厚度 , 载流子迁移率