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PLD法制备TiO2薄膜及电阻转变特性研究

曹逊 , 李效民 , 于伟东 , 张亦文

无机材料学报

采用脉冲激光沉积法(PLD),以Pt(111)/Ti/SiO2/Si为衬底,制备了具有电阻转变特性的TiO2薄膜.X射线衍射(XRD)分析未发现明显的TiO2结晶峰,薄膜呈纳米晶或非晶态.扫描电子显微镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)分析表明,TiO2薄膜表面平整、光滑致密.电学测试结果表明,Ti...

关键词: 脉冲激光沉积法 , 单极性 , 电阻转变特性 , TiO2薄膜