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PZT压电厚膜的研究现状与进展

李传山 , 沈建兴 , 张雷 , 董金美

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2006.05.023

PZT压电厚膜材料具有良好的压电性能,它兼顾了块体材料和薄膜的优点,近年来得到了广泛的研究与应用.本文简述了制备PZT压电厚膜的制备方法及基板、电极材料的研究情况,讨论了目前制造PZT压电厚膜所存在的基板与厚膜之间的高温扩散以及丝网印刷用厚膜浆料难以分散均匀等共性问题,同时,就如何解决这些问题进行了评述.

关键词: PZT , 压电厚膜 , 浆料 , 扩散 , 缓冲层

无铅压电陶瓷制备方法的研究进展

张雷 , 沈建兴 , 李传山 , 董金美 , 马元 , 闫春蕾

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2007.05.024

无铅压电陶瓷的开发和应用已经成为各个国家的研究热点.无铅压电陶瓷的制备方法是决定其结构、性质和应用的关键因素.本文从粉体制备方法和陶瓷制备新技术两个方面综述了近几年无铅压电陶瓷制备方法(如溶胶-凝胶法、水热法、熔盐法、压电厚膜技术、放电等离子烧结技术等)的研究进展,并对制备出的无铅压电陶瓷的性能与传统方法进行了对比,讨论了不同制备方法的优缺点.

关键词: 无铅压电陶瓷 , 制备方法 , 熔盐法 , 压电厚膜

压电厚膜的研究现状及趋势

熊龙宇 , 姜胜林 , 曾亦可 , 张海波 , 王青萍

材料导报

随着电子元器件向小型、高灵敏、集成、多功能化方向发展,薄/厚膜材料及器件逐渐成为研究的重点.由于压电厚膜(10~100μm)兼具有压电陶瓷与压电薄膜的优点,是各种微型传感器和执行器的核心部分,已引起世界各国研究者极大的兴趣,但是大多数研究还处于实验阶段.评述了压电厚膜的制备方法、测试表征以及应用状况,归纳了压电厚膜研究的现状及发展趋势,指出了其中存在的问题及解决办法,并对压电厚膜今后的研究提出了一些建议.

关键词: 压电厚膜 , 压电测试 , 压电器件

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