材料期刊网

ZnO压电薄膜的制备与性能表征

许恒星 , 王金良 , 唐宁 , 彭洪勇 , 范超

人工晶体学报

采用射频磁控溅射法在硅(100)衬底上制备高质量的ZnO压电薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、压电响应力显微镜(PFM)等仪器研究了薄膜成分,表面形貌和压电性质.结果表明:实验制备的ZnO薄膜具有很好的压电性质,c轴取向和表面粗糙度对薄膜压电特性有很大影响,高度c轴取向生长和表面粗糙度较小的ZnO薄膜表现出更好的压电性质.

关键词: ZnO薄膜 , 射频磁控溅射 , 压电性质 , 表面粗糙度