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袁振宇 , 徐东 , 刘毓舒 , 蔡炳初
稀有金属材料与工程
研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构,讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响,采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的结构及相变过程,确定了最适合于微器件的溅射工艺.结果发现:溅射时采用原位加热可直接获得具有织构的晶化薄膜,提高溅射功率将使薄膜的相变温度升高.
关键词: NiTi形状记忆合金薄膜 , 原位加热 , 织构 , 微驱动器
