王锐
,
李道火
,
黄永攀
,
罗丽明
,
浦坦
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2004.05.030
为了制备高纯度的非晶纳米氮化硅粉体,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上,加入正交紫外光束以激励NH3分解,从而提高气相中n(N)/n(Si)比,减少产物中游离硅的摩尔浓度.利用TEM技术和光谱分析技术研究了粒子的形貌和特性.结果表明:在一定的工艺参数条件下,可制备出粒径超微(7～15 nm)、无团聚、理想化学剂量(n(N)/n(Si)=1.314)的非晶纳米氮化硅粉体;表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱和拉曼光谱的"蓝移"和"宽化"现象;采用双光束激励的激光诱导化学气相沉积法是制备高纯度纳米氮化硅粉体的理想方法.
关键词:
LICVD
,
Si3N4
,
双光束激发
,
红外吸收光谱
,
拉曼光谱
陈磊
,
黄永攀
,
浦坦
,
郭晓勇
,
赵文武
,
张为俊
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.02.028
介绍了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工艺原理,通过增加正交紫外光束激励NH3分解,提高气相中n(N)/n(Si)比,从而减少产物中游离硅的浓度,制备出粒径7～15 nm的无团聚、理想化学剂量(n(N)/n(Si)=1.314)的非晶纳米氮化硅粉体.采用透射电子显微镜观察粉体形貌,并指出表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱和拉曼光谱的"蓝移"和"宽化"现象.采用双光束激励的光诱导化学气相沉积法是制备高纯度纳米氮化硅粉体的理想方法.
关键词:
光电子学
,
LICVD
,
氮化硅
,
双光束激发
,
红外吸收光谱
,
拉曼光谱
