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2.4GHz射频薄膜体声波谐振器的研制

汤亮 , 郝震宏 , 乔东海

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.005

提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2.4GHz射频薄膜体声波谐振器,并进行了研究.采用修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟.给出了采用MEMS工艺制备器件的工艺流程,并利用射频网络分析仪对实验器件进行了测试.利用多点数值拟合的方法消除射频测试中引入的寄生分布参数,提取出器件...

关键词: 薄膜体声波谐振器 , 振荡器 , 滤波器 , 双工器 , 射频微机电系统