鲁亮
,
穆参军
,
李四华
,
吴亚明
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.007
本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器.这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉.通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟,结果表明:测量芯片量程达500A～2000A,并可通过改变设计参数灵活调整;一阶固有频率接近60kHz,大电流下灵敏度接近0.2dB/A,外界温度变化±50K时传感器测试误差在0.7%以内.
关键词:
光栅光阀(GLV)
,
光学电流传感器
,
双端固支梁
