库黎明
,
李耀东
,
周旗钢
,
王敬
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.02.002
利用非接触式光学轮廓仪研究了双面抛光过程中不同压力下300mm硅片表面形貌的变化,并通过Stribeck曲线进行了探讨.结果表明,双面抛光过程中机械作用的强度随着压力的变化而不同,从而影响抛光后的硅片表面形貌.当硅片表面与抛光垫之间的接触处于固-液混合接触区时,协调机械去除作用与化学腐蚀作用之间的关系,使之达到平衡,可以显著地降低硅片表面的微粗糙度和峰谷值.
关键词:
硅片
,
双面抛光
,
非接触式光学轮廓仪
,
表面形貌
