徐谦
,
左然
,
张红
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.016
本文分析了现有的MOCVD反应器存在的不足,提出了一种新型的反向流动垂直喷淋式反应器:反应气体从基片上方的许多平行小喷管喷入反应区,反应后的尾气又从基片上方出口排出,从而减少了反应物浓度沿衬底径向的不均匀性.通过对反应器进行三维数值模拟,改变喷管的中心距、喷管端与衬底的距离、流量、气体压强等参数,确定了反应室内衬底上方温度场与浓度场为最佳时的参数组合.
关键词:
反向流动
,
MOCVD
,
反应器设计
,
数值模拟
