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一种高效沉积反应室的设计

熊国刚 , 肖李鹏

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.10.016

利用Arrhenius公式对化学气相沉积的反应进行研究,设计了一种低压热化学气相沉积(LPCVD)高效沉积反应室.在料管的下方与衬底的上方间安放漏斗型筛板,在工艺中有效地提高了氢气的分压,并有利于衬底温度的提高,加快了沉积速率.通过对设计前后钨薄膜的金相组织对比分析后发现,较高的沉积速率可以使沉积薄...

关键词: 低压热化学气相沉积 , 高效沉积 , 反应室 , 设计