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AZ5214E反转光刻胶的性能研究及其在剥离工艺中的应用

陈光红 , 于映 , 罗仲梓 , 吴清鑫

功能材料

研究了AZ52ME反转光刻胶的性能并选择适当的工艺可制得利于剥离的倒台面,并将其应用于射频MEMS开关的制作中剥离厚2μm的金薄膜.用扫描电镜(SEM)测出胶的侧壁为倒台面.

关键词: AZ5214E , 反转:剥离